高思田
作品数: 223被引量:391H指数:12
  • 所属机构:中国计量科学研究院
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家科技支撑计划

相关作者

施玉书
作品数:170被引量:180H指数:8
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 纳米
李琪
作品数:124被引量:195H指数:7
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 校准 扫描探针 探针 粒径测量
李伟
作品数:97被引量:122H指数:6
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 扫描探针 测头
李适
作品数:74被引量:61H指数:5
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:校准 计量学 扫描探针 大行程 纳米级
黄鹭
作品数:69被引量:88H指数:5
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 粒径测量 校准 纳米
纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对
对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于...
高思田邵宏伟王春艳
关键词:检定校准
文献传递
248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜,包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组,该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成;该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成,其中第十二透镜为平行平板镜...
高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群
文献传递
纳米精度MEMS平面运动测量技术被引量:1
2008年
为实现MEMS谐振器在周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量,提出了一种基于块匹配的最优根值亚像素运动估计测量方法.该方法在双线性插值细分技术基础上,将物体亚像素位移的定位转换为求解方程的最优根值的方式,通过最小均方差法获得物体运动位移的纳米级分辨力测量结果.该算法避免了传统算法中由于迭代所引起的大量运算.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.实验结果表明,采用该方法得到的平面位移测量分辨力为5 nm.
高思田陈治胡晓东傅星胡小唐
关键词:动态特性块匹配亚像素
纳米膜层厚度标准的研制
为实现纳米薄膜厚度计量的量值溯源,研制了一套纳米薄膜厚度校准样片,其中纳米单层膜厚度标准片带有可供各类接触式测量仪器测量的膜厚图形,厚度值从5 nm至100 nm.该校准样板能够分别在X射线衍射仪、椭偏仪、原子力显微镜、...
崔建军高思田杜华叶孝佑严利平
关键词:仪器校准
文献传递
基于热电偶的精密环境温场测量的关键问题研究被引量:4
2010年
分析了热电偶温度测量不确定度、温场稳定度测量不确定度和温场均匀度测量不确定度,为精密环境的温场参数测量和控制提供理论保障.分析表明,热电偶测温不确定度与热电偶热电动势、参考端温度传感器的测量不确定度密切相关;温场均匀度测量不确定度与热电偶热电动势的测量不确定度密切相关;温场稳定度测量不确定度与热电偶热电动势和温差拟合函数的关系密切,在一次线性拟合的条件下取决于拟合函数的斜率.针对测量过程中存在的脉冲噪声和热电偶非线性的干扰,结合精密环境温度信号变化缓慢的特点,提出综合运用均值滤波和中值滤波处理热电偶热电动势测量数据去除测量中脉动噪声和热电偶非线性对测量结果的影响.
李洪波赵维谦高思田崔建军丁健
关键词:热电偶测量不确定度非线性滤波
原子力显微镜校准技术的研究
该文研究了一台具有中等测量范围,并加装了由三台微型激光干涉仪组成的三维测量系统的计量型原子力显微镜的扫描器校准,提出了单参数校准和三维校准两种方法。所设计的干涉仪的布局特别适合于计量特性的研究(如一个移动轴在其它两个从标...
高思田邵宏伟王春艳叶孝佑徐毅
关键词:原子力显微镜计量校准
文献传递
基于扫描电镜的反渗透基膜孔径测量方法研究被引量:1
2017年
文章使用溅射镀膜仪对反渗透基膜进行喷金处理,探索最佳喷金参数,改善样品导电性;使用场发射扫描电镜和Image J软件对膜样的孔径进行测量分析。研究结果表明:喷金处理对反渗透基膜的扫描电镜图像质量具有重要影响,喷金处理既要能够改善样品表面导电性,又要避免金薄膜覆盖样品的原始形貌。最佳喷金参数为:溅射距离55 mm,溅射电流15 m A,溅射时间10 s。三种反渗透基膜中,1#和2#样品中,6.5 nm到10 nm孔径的数量分别为68.8%和58.1%;3#样品中小于或等于10 nm孔径的数量为19.7%,大于10 nm孔径的数量为80.3%。高分辨扫描电镜成像和Image J软件,结合最佳喷金处理,能够对反渗透基膜几纳米到几十纳米孔径进行有效测量。
李旭任玲玲高思田夏建中况武
关键词:导电性扫描电镜孔径
石墨烯层数测量方法的研究进展被引量:13
2015年
石墨烯具有高导电性、高韧度、高强度、超大比表面积等特点,在电子、航天工业、新能源、新材料等领域有广泛应用。对石墨烯层数测量方法的研究有助于深入理解石墨烯性能与微观结构之间的关系。本文着重阐述了包括光学显微镜、拉曼光谱、原子力显微镜和透射电镜等测量石墨烯层数的方法,同时比较了各种测量方法的优点及局限性,并指出石墨烯层数的测量方法还有待进一步完善。
姚雅萱任玲玲高思田赵迎春高慧芳陶兴付
关键词:石墨烯层数测量方法
X射线衍射仪角度校准的光学新方法被引量:2
2014年
目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
崔建军高思田邵宏伟杜华王鹤岩
关键词:计量学X射线衍射
Cu(In,Ga)Se_2薄膜组成表面分析准确测量国际关键比对被引量:1
2015年
中国计量科学研究院参加了国际关键比对K129,采用X射线光电子能谱仪(XPS)建立了测量薄膜太阳能电池材料铜铟镓硒(CIGS)薄膜组成和深度成分分布的有效方法。采用合适的条件,对CIGS薄膜进行深度剖析,提出并完善了一套XPS深度剖析数据处理方法(全计数法和相对灵敏度因子法),对薄膜组成进行了准确测量。结果表明,该方法的测量重复性良好,5次测量的相对标准偏差(RSD)均小于2%,测量扩展不确定度优于4%,与其他国家计量院的结果取得等效一致。对比研究了不同灵敏度因子来源(由参考样品获得、仪器数据库的3种来源)对CIGS薄膜组成测量结果的影响,结果表明,仪器厂商数据库自修正的灵敏度因子最接近于参考样品,可较好地对CIGS薄膜进行原子含量测量。该方法可推广用于表面分析设备深度剖析薄膜样品时定量计算薄膜成分,提高测量薄膜成分的准确度,为薄膜太阳能电池材料研发和产业化提供参考依据。
王梅玲王海高思田马一博范燕宋小平
关键词:CIGS薄膜X光电子能谱国际关键比对