曲子濂
作品数: 15被引量:4H指数:1
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

路新春
作品数:362被引量:356H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
赵乾
作品数:138被引量:10H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
孟永钢
作品数:314被引量:694H指数:15
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
赵德文
作品数:320被引量:595H指数:12
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
何永勇
作品数:258被引量:887H指数:17
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械