董晓文
作品数： 16被引量：14H指数：2
  • 所属机构:中国科学院电工研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

司卫华
作品数：23被引量：15H指数：2
供职机构：清华大学
研究主题：纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
顾文琪
作品数：100被引量：79H指数：4
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
刘泽文
作品数：191被引量：152H指数：6
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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