赵建平
作品数： 4被引量：16H指数：2
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

柳襄怀
作品数：140被引量：567H指数：12
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
陈智颖
作品数：5被引量：16H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：性能研究 FAD 非晶金刚石薄膜 非晶 金刚石薄膜
王曦
作品数：531被引量：250H指数：9
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
施天生
作品数：32被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：超导体 YBA 性能研究 FAD 金刚石薄膜
杨石奇
作品数：6被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：性能研究 FAD 非晶金刚石薄膜 金刚石薄膜 非晶
作品列表