王永录
作品数： 2被引量：0H指数：0
  • 所属机构:西安微电子技术研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

单光宝
作品数：15被引量：17H指数：2
供职机构：西安微电子技术研究所
研究主题：MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
阮晓明
作品数：24被引量：5H指数：1
供职机构：西安微电子技术研究所
研究主题：石英挠性加速度计 差动电容 伺服电路 力矩器 标度因数
李兴凯
作品数：2被引量：1H指数：1
供职机构：西安微电子技术研究所
研究主题：MEMS器件 微机械陀螺仪 封装 武器
姚军
作品数：7被引量：5H指数：1
供职机构：西安微电子技术研究所
研究主题：MEMS 掩膜 硅微加速度计 高抗 红外测温
作品列表