-
何渝
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:理学
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
- 作品数：469被引量：445H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 赵立新
- 作品数：228被引量：73H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
- 唐燕
- 作品数：108被引量：44H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
- 朱江平
- 作品数：30被引量：28H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
- 刘俊伯
- 作品数：98被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 波像差
