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李光云
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- 所属机构:华南师范大学
- 所在地区:广东省 广州市
- 研究方向:自动化与计算机技术
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- 作品数:6被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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- 作品数:5被引量:3H指数:1
- 供职机构:华南师范大学
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- 作品数:6被引量:4H指数:1
- 供职机构:华南师范大学文学院
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- 作品数:11被引量:6H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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- 作品数:5被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:聚酰亚胺 汞 压电晶体 半导体工艺 反应离子刻蚀