-
苏平
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 冯伯儒
- 作品数：109被引量：225H指数：9
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
- 张锦
- 作品数：135被引量：216H指数：8
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院
- 研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
- 宗德蓉
- 作品数：37被引量：66H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
- 蒋世磊
- 作品数：99被引量：176H指数：8
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院
- 研究主题：光学系统 干涉光刻 光学设计 光阑 光学镜头
- 侯德胜
- 作品数：62被引量：141H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
