-
王德强
-
-
- 所属机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 谢常青
- 作品数：507被引量：262H指数：8
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
- 叶甜春
- 作品数：842被引量：665H指数：10
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
- 张立辉
- 作品数：9被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
- 刘明
- 作品数：1,366被引量：408H指数：11
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 汤跃科
- 作品数：9被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
- 研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
