-
顾忠华
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国际科技合作与交流专项项目
相关作者
- 潘国顺
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:167被引量:273H指数:11
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
- 龚桦
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:28被引量:16H指数:2
- 供职机构:清华大学研究院
- 研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
- 陈高攀
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:19被引量:4H指数:1
- 供职机构:清华大学研究院
- 研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 化学机械抛光 磨粒
- 邹春莉
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:15被引量:18H指数:2
- 供职机构:清华大学研究院
- 研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
- 罗桂海
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:19被引量:13H指数:2
- 供职机构:清华大学研究院
- 研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 酸性