-
李源
-
-
- 所属机构:上海市计量测试技术研究院
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 蔡潇雨
- 作品数:43被引量:66H指数:5
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院
- 研究主题:白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
- 傅云霞
- 作品数:119被引量:141H指数:6
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院
- 研究主题:激光跟踪仪 光栅 测量方法 纳米 测头
- 雷李华
- 作品数:96被引量:78H指数:5
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院
- 研究主题:光栅 纳米 校准 计量学 膜厚
- 吴俊杰
- 作品数:33被引量:58H指数:6
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院
- 研究主题:电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
- 魏佳斯
- 作品数:27被引量:46H指数:5
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院
- 研究主题:白光干涉 原子力显微镜 微球 纳米 栅格