唐锋
作品数: 216被引量:95H指数:6
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数:817被引量:1,312H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 像差
卢云君
作品数:70被引量:25H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
冯鹏
作品数:41被引量:17H指数:3
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 波前传感器 干涉图 分波 剪切干涉
郭福东
作品数:41被引量:28H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
李杰
作品数:36被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接