-
张利斌
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 韦亚一

- 作品数:212被引量:41H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 掩模 版图 光源 光刻工艺
- 董立松

- 作品数:96被引量:19H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
- 粟雅娟

- 作品数:71被引量:26H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 通孔
- 何建芳

- 作品数:19被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
- 王向朝

- 作品数:828被引量:1,373H指数:19
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模