张志强
作品数: 6被引量:11H指数:3
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目

相关作者

吴亚明
作品数:167被引量:198H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 阵列波导光栅
李绍良
作品数:11被引量:41H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
徐静
作品数:43被引量:76H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器