辛将
作品数: 21被引量:1H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

朱效立
作品数:155被引量:124H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
刘明
作品数:1,361被引量:405H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
谢常青
作品数:506被引量:259H指数:8
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
高南
作品数:13被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
李志超
作品数:121被引量:222H指数:8
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:激光等离子体 惯性约束聚变 探测器 针孔 激光聚变