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鲁进军
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- 所属机构:北京有色金属研究总院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
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- 周旗钢
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- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:1被引量:19H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:4被引量:5H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:9被引量:7H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
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- 作品数:3被引量:19H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌