-
刘子维
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:理学
相关作者
- 李海亮
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:83被引量:52H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
- 刘明
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:1,341被引量:397H指数:11
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 谢常青
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:502被引量:255H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
- 牛洁斌
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:131被引量:73H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
- 王冠亚
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:25被引量:4H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光