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哈尔滨市科技创新人才研究专项资金项目(RC2007QN009016)
哈尔滨市科技创新人才研究专项资金项目(RC2007QN009016)
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1
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相关作者:
杨大伟
王颖
胡海帆
程超
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相关机构:
哈尔滨工程大学
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哈尔滨市科技创新人才研究专项资金项目
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相关领域:
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作者
1篇
程超
1篇
胡海帆
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王颖
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杨大伟
传媒
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电子器件
年份
1篇
2008
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短沟Trench MOSFET阈值电压解析模型
2008年
传统MOS器件的阈值电压模型被广泛地用于分析Trench MOSFET的阈值电压,这种模型对于长沟道和均匀分布衬底的MOS器件来说很合适,但是对于Trench MOSFET器件来说却显现出越来越多的问题,这是因为Trench MOSFET的沟道方向是垂直的,其杂质分布也是非均匀的。本文基于二维电荷共享模型,给出了Trench MOSFET的一种新的阈值电压解析模型,该模型反映了器件的阈值电压随不同结构和工艺参数变化的规律,模型的结果和器件仿真软件Sivaco TCAD的仿真结果吻合较好。该模型较好地解决了以往所用的Trench MOSFET阈值电压模型计算不准确的问题。
王颖
程超
胡海帆
杨大伟
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阈值电压
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