国家自然科学基金(50775217)
- 作品数：7 被引量：22H指数：2
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- 相位恢复镜面检测性能研究
- 2009年
- 在镜面面形检测中应用相位恢复技术,可以简化测量系统,增强抗震动干扰能力。为确定相位恢复镜面测量系统的性能,从两个方面进行了研究。结合提出的相位恢复测量系统,运用傅立叶光学和几何光学理论讨论硬件对测量范围的限制,确定了CCD像素尺寸与被测镜f数,CCD整体尺寸与被测镜最大像差之间的定量关系。从算法效能角度,采用单因素仿真实验考察算法对镜面误差幅度和频率的适应性。仿真结果表明,表面误差频率在31.4mm附近时算法效率较高,过高或过低都将降低算法的效率;误差幅值的影响不大,镜面误差RMS值大至六个波长,小至百分之波长算法都可以胜任。
- 丁凌艳吴宇列李圣怡
- 关键词：光学制造相位恢复
- 基于相位恢复技术的大型光学镜面面形在位检测技术被引量：17
- 2009年
- 根据目前大镜加工在位检测的需求和面临的困难,把基于衍射图像检测的相位恢复技术应用到大镜面形的在位检测,建立大镜加工在位检测系统。对影响测量系统精度的主要因素以及系统的抗振动性能进行了分析和仿真,结果表明该测量系统具有较好的抗振动能力,精度接近标准球面波光源的精度。基于GS迭代算法开发了测量软件,对φ500mm球面镜进行在位测量。把相位恢复测量结果与高精度的ZYGO干涉仪测量结果进行比较分析,结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上,两者具有较高程度的一致性,这说明相位恢复测量方法的可行性和准确性。由该方法构成的在位测量系统具有光路简单、精度较高、抗振动能力强和操作简单等特点,完全满足大镜的在位测量需求。
- 吴宇列胡晓军戴一帆李圣怡
- 关键词：相位恢复
- 大镜面在位检测中的相位恢复技术研究被引量：2
- 2009年
- 为了满足大型光学镜面加工对在位检测的需求,探索了一种应用相位恢复技术的新型镜面测量方法.构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并实现了与此系统相适应的相位恢复算法,此测量系统结构简单且不易受环境振动影响.在此系统基础上,详细分析了各种误差因素以及系统测量准确度和测量范围,并针对在位检测的特点和要求,研究了此方法在应用中的可靠性.对一面口径430mm的球面反射镜进行了分平台在位测量实验.实验中分析了不同测量参量对测量结果的影响.相位恢复测量与干涉测量结果对比较为吻合.理论分析和实验都表明该方法切实可行,检测准确度满足光学镜面研抛加工要求.
- 李圣怡胡晓军吴宇列
- 关键词：应用光学相位恢复
- 大型镜面大误差范围相位恢复在位测量研究被引量：2
- 2011年
- 研究了一种基于相位恢复技术的新型镜面测量方法,用于测量大型光学镜面研抛加工过程中较高较陡的面形误差,为光学镜面加工中误差收敛的过渡阶段提供可靠的定量在位测量方法。文中构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并设计适用于大误差检测的相位恢复算法。分析了各种误差因素以及系统测量精度以及测量范围。对一面口径150mm球面反射镜进行了在位测量实验。相位恢复测量与干涉测量结果一致。理论分析和实验都表明该方法切实可行,检测范围和相对精度满足加工要求,具有良好的应用前景。
- 胡晓军赵锦瑾
- 关键词：应用光学相位恢复
- 长焦距镜面的相位恢复检测技术研究
- 2009年
- 针对长焦距光学镜面在位检测的难题,引入相位恢复测量原理,提出了一种基于补偿镜的新测量方法以实现镜面的近距离在位检测。对测量原理和测量方案进行了分析,并构建了测量装置。
- 廖洋吴宇列丁凌燕胡晓军
- 关键词：相位恢复
- 基于相位恢复技术的二维相位解包络算法
- 2007年
- 介绍一种新型的二维相位解包络算法。该算法的原理是将被解包络的相位作为输入光场,通过光学衍射计算得到其远场衍射光场的光强分布,然后使用相位恢复算法进行优化计算,得到一组用于表达连续波面的最佳Zernike多项式参数。此算法的特点在于,结合已成熟的相位恢复算法,波面解包络的唯一性和准确性可得到充分的保证;同时利用光场衍射计算,可方便地通过对衍射光强的滤波实现对相位噪声的抑制。实验验证了该算法的有效性。
- 胡晓军郑子文戴一帆李圣怡
- 关键词：相位恢复衍射计算
- 相位恢复测量长焦距镜面(英文)被引量：4
- 2010年
- 针对长焦距光学镜面检测中测量光路长,振动干扰较大,不容易用干涉仪进行面形检测的难题,提出了一种基于相位恢复技术的测量方法.该方法用相干点光源照射被测镜,采集一系列焦点附近的衍射光强图像,然后运用相位恢复算法得到镜面面形误差分布.利用衍射光学理论建立了测量模型,并用基于Gerchberg-Saxton算法的迭代算法求解模型.然后仿真验证了光场传播模型的可靠性和测量算法的有效性,并用该方法测量了一块曲率半径8700mm,口径145mm的球面镜.通过对光强图像位置进行优化,并选择适当离焦位置的图像,最终恢复出了镜面面形.相位恢复测量的结果与动态干涉仪测量结果基本一致,并且测量装置简单,对环境要求低.
- 丁凌艳吴宇列李圣怡
- 关键词：面形测量相位恢复衍射
