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国家科技重大专项(GFZX020501080322)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：王绍朋韩敬华段涛冯国英更多>>
相关机构：西南科技大学四川大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇烧蚀
  • 1篇激光
  • 1篇激光烧蚀
  • 1篇硅
  • 1篇冲击波

机构

  • 1篇四川大学
  • 1篇西南科技大学

作者

  • 1篇冯国英
  • 1篇段涛
  • 1篇韩敬华
  • 1篇王绍朋

传媒

  • 1篇光谱学与光谱...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光烧蚀硅过程中的元素沉积规律
2013年
激光在半导体加工行业(特别是硅材料)具有广阔的应用前景。激光与硅作用过程极其复杂,本文主要研究了紫外激光脉冲对硅进行烧蚀的形貌特征以及环境气体的影响。研究表明,紫外激光烧蚀硅产生激光等离子体的电离效应对烧蚀特性起了决定性的影响:气化、电离物的产生为材料的去除提供了条件,同时激光等离子体冲击波会把相变材料有效排出,激光等离子体光谱的电离效应则把空气中的氧元素有效电离并沉积到烧蚀产物中。
王绍朋冯国英段涛韩敬华
关键词：单晶硅冲击波
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共1页<1>
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