国家自然科学基金(51275122)
- 作品数：2 被引量：24H指数：2
- 相关作者：杨立军丁烨张宏志王扬迟关心更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工被引量：7
- 2015年
- 为了加工形貌稳定且尺寸尽可能小的纳结构,建立了一套连续激光复合微纳探针的加工系统,并研究了光纤探针导光的连续激光辐照微纳探针的近场增强效应以及该系统的加工性能。首先,根据表面等离子体激元理论仿真分析了激光辐照原子力显微镜（AFM）探针的近场增强因子,并研究了微纳探针的针尖温度场和针尖热膨胀。接着,搭建了基于光纤探针导光的连续激光复合微纳探针的纳结构加工系统。最后,对聚乙烯片状材料样品进行了纳结构加工。结果显示：加工得到的纳米点尺度为200nm左右;纳米线的尺度为30~40nm。结果表明：光纤探针导光连续激光复合微纳探针系统避免了复杂的空间光路结构,是一种成本低廉,结构简单的系统,能够实现纳结构的加工。
- 程柏韩冰谷立山陈晓苹杨立军
- 关键词：连续激光刻划
- 激光微孔加工技术及应用被引量：17
- 2016年
- 随着高端、精密装备的飞速发展,人们对高质量、大深径比微孔的需求越来越紧迫。基于此,介绍了飞秒激光与水导激光两种加工微孔的技术,首先探讨了两种微孔加工技术的原理并且回顾了两种微孔加工技术的研究现状;然后着重讨论了激光工艺参数、打孔方式、加工环境(真空、气体、液体、化学环境)、激光与水束光纤耦合对于高质量微孔加工的影响;最后总结了两种微孔加工技术在航空航天领域的应用以及当前面临的问题。
- 杨立军孔宪俊王扬丁烨张宏志迟关心
- 关键词：飞秒激光微孔
