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国家高技术研究发展计划(2003AA425000)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：王伟徐华赵雁南贾培发更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇面向服务架构
  • 1篇开放式系统
  • 1篇刻蚀
  • 1篇基于面向服务...
  • 1篇架构
  • 1篇分布式
  • 1篇服务架构
  • 1篇IC

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇贾培发
  • 1篇赵雁南
  • 1篇徐华
  • 1篇王伟

传媒

  • 1篇高技术通讯

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于面向服务架构的分布式开放控制系统被引量：2
2007年
提出了一种基于面向服务架构（SOA）的分布式开放控制系统模型。整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成。各层内部采用面向对象的方法进行设计，各层相对独立，层间的耦合性比较小。服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装，以服务的方式供应用层使用。这种控制系统模型，开放性好，各个模块的可重用性强，开发效率高。使用这种框架，成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统，而且取得了很好的效果。
王伟赵雁南徐华贾培发
关键词：IC刻蚀面向服务架构开放式系统
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