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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-10-0583)

作品数：15 被引量：44H指数：4
相关作者：张卫平唐健邹阳刘亚东汪濙海更多>>
相关机构：上海交通大学中国电子科技集团公司第五十研究所中国科学院更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金航天科技创新基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信生物学更多>>

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 5篇学位论文
  • 2篇会议论文

领域

  • 11篇航空宇航科学...
  • 7篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 1篇生物学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 10篇陀螺
  • 5篇多环
  • 4篇半球谐振陀螺
  • 4篇MEMS
  • 3篇压电
  • 3篇阳极键合
  • 3篇微加工
  • 3篇谐振
  • 3篇刻蚀
  • 3篇键合
  • 3篇仿生
  • 3篇飞行
  • 3篇飞行器
  • 2篇湿法刻蚀
  • 2篇石英
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微机械陀螺

机构

  • 21篇上海交通大学
  • 1篇教育部
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 8篇张卫平
  • 4篇唐健
  • 2篇汪濙海
  • 2篇邹阳
  • 2篇欧彬
  • 2篇刘亚东
  • 1篇刘亚东
  • 1篇吴校生
  • 1篇张雷
  • 1篇关冉
  • 1篇崔峰
  • 1篇张弓
  • 1篇陈文元
  • 1篇成宇翔
  • 1篇刘武
  • 1篇刘朝阳
  • 1篇王晨阳

传媒

  • 8篇半导体光电
  • 1篇机械设计与研...
  • 1篇民用飞机设计...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇无人系统技术
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇2018年无...

年份

  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 3篇2019
  • 3篇2018
  • 5篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2012
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究被引量：3
2020年
由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中,不可避免地会引入馈通信号,而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性,不能有效地消除馈通信号。针对此问题,提出了一种基于反相信号的馈通取消方案,通过在驱动和检测电极之间施加与馈通信号反相的信号,从而抵消馈通效应带来的干扰,该方法理论上可以在不降低驱动力的情况下将馈通信号完全取消。实验结果表明,该方法能有效消除馈通信号对电容检测的影响,谐振峰高度可提高约25倍。
田梦雅张卫平谷留涛刘朝阳薛冰
关键词：电容检测
金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法被引量：1
2021年
提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真。模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37 045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 593 Hz,最大位移为0.021μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 669 Hz,最大位移为0.006 4μm。随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个圆周的电容间隙均匀。
谷留涛张卫平刘朝阳张雷龚成向浩
关键词：有限元分析金刚石
面向扑翼微飞行器的扭矩传感器研究
2019年
由于仿昆虫扑翼微飞行器需要在小范围内传输扭矩,且扭矩数值较小,一般的扭矩传感器或力传感器在其动态范围内均难以达到测量精度的要求。为了解决这一问题,提出了一种新型单轴扭矩传感器的设计方案,并完成了实际的制造和测试。该扭矩传感器的主体为殷钢材料,由激光加工制作而成,利用电容式位移传感器测量主轴旋转时目标板的位移,从而建立输出电压与施加扭矩之间的对应关系。传感器带宽和分辨率与微飞行器飞行实验的标准相匹配,同时对离轴负载保持不敏感。经实验测定,该单轴扭矩传感器的带宽为1.1kHz,测量范围为±260.8μNm,分辨率为0.013μNm,可以满足微飞行器扭矩的测量需求。
周靖张卫平邹阳王晨阳孟冉靖霄
关键词：敏感元件分辨率
仿蝙蝠飞行器的设计制造与优化
作为哺乳动物家族中唯一能够自由飞行的生物,蝙蝠具有高超的飞行技巧。蝙蝠的翅翼膜覆盖全身,形态决定功能,其独特的身体构造决定了它具有独特的飞行机理。随着摄像设备的发展,蝙蝠的飞行机理逐渐被人们揭开,而根据蝙蝠的飞行机理设计...
齐津浩
关键词：飞行器样机
基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作被引量：2
2017年
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。
朱甲强张卫平唐健邢亚亮孙殿竣吴校生崔峰刘武成宇翔赵万良
关键词：阳极键合MEMS工艺
压电半球谐振陀螺的数字检测方法
2016年
提出了一种压电半球谐振陀螺的数字检测方法。该检测方法基于Cyclone IV FPGA开发板,结合AD9226的A/D采样功能和Matlab的数字信号处理能力,实现了对采用压电效应、柯氏效应的压电半球谐振陀螺的输出信号进行采集及检测。介绍了该陀螺的结构和工作原理,并以其工作在89.4 k Hz的体声波二波腹模态下的仿真结果为基础设计了数字检测方法。
汪濙海张卫平孙殿竣唐健成宇翔刘亚东邢亚亮
关键词：压电FPGA
仿昆虫扑翼微飞行器研究现状与关键技术被引量：13
2018年
仿昆虫扑翼微飞行器基于对自然界中各类昆虫扑翼飞行机理的仿生,具有尺寸微小、隐蔽性高、灵活机动等优势。依据仿昆虫扑翼微飞行器所普遍采用的静电驱动、压电驱动、电机驱动、电磁驱动和其他驱动等扑翼驱动方式,依次分类介绍并总结目前仿昆虫扑翼微飞行器的发展历程、国内外研究现状和最新进展。同时针对目前仿昆虫扑翼微飞行器所采用的各类驱动方式、飞行方式、控制方案、胸腔机构设计、整机系统共振机制以及机载设备搭载研究等关键技术进行了分析和总结。
王晨阳张卫平邹阳
关键词：仿生昆虫微型飞行器微加工技术
多环谐振式微机械陀螺频率跟踪电路研究被引量：2
2020年
由于多环谐振式微机械陀螺的谐振频率较高,传统的数字控制电路对陀螺幅点信号的频率跟踪难以同时兼顾精度和速度的要求。在传统半球陀螺数字控制电路的基础上,提出了一种适用于多环谐振式微机械陀螺仪的频率跟踪电路,并首次运用于多环谐振式微机械陀螺。该电路以高速A/D转换电路为基础,通过对幅点信号高速采样计算频率和相位信息,并通过CORDIC算法产生输出信号。测试结果显示,该电路使多环谐振式微机械陀螺幅点信号的频率跟踪精度达到了0.78Hz,频率跟踪时间小于40μs,使控制电路的性能得到了极大提升。
薛冰张卫平王子杰田梦雅谷留涛
关键词：CORDIC
昆虫尺度微型仿生飞行器的研究被引量：1
2017年
微型仿生飞行器的研究涉及仿生学原理、准稳态气动力和原理样机的研制等。概述了上海交通大学针对昆虫尺度的微型仿生飞行器的新颖的设计和加工方法。该方法确保了零部件空间位置的合理安排,从而减少了零部件的装配难度。具体来说,压电驱动器的设计考虑了电气隔离和装配问题;传动机构与机身整合成一个部件,避免了相互之间的装配。翅脉的纤维方向进行了合理的布置,使得翅膀拥有高强度和高刚度。最终,研制的压电驱动微型仿生飞行器重84mg,翼展35mm,在100Hz的拍打共振频率下可以产生±60°的拍打角度,能产生足够的升力实现起飞。
邹阳张卫平周岁王晨阳
关键词：仿生学微型飞行器压电驱动器
基于硅基底的微3-D谐振子湿法刻蚀工艺探究
半球谐振陀螺在近年来的惯性导航应用中已经表现出了很好的性能和鲁棒性，但是，目前使用的半球谐振陀螺体积大、成本高，限制了其在导航定位、空间探测等领域的应用。因此，体积小、成本低的MEMS半球谐振陀螺已成为不得不考虑的一种替...
刘亚东
关键词：半球谐振陀螺湿法刻蚀硅基底
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