国家教育部博士点基金(20030358020)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术被引量：3
- 2007年
- 在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片对准技术,应用于光刻机中可获得优于20 nm的定位对准精度.
- 叶锡标周成刚张阳黄文浩
- 一种新颖的三维零位标记
- 2007年
- 提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只能进行一维或二维平面定位而不能实现在三维坐标系上进行绝对定位的缺点.这种三维零位标记系统简单,可以实现纳米级精度的三维绝对零位.
- 周成刚叶锡标张阳黄文浩
- 关键词：平面光栅位置传感器
- 一种简单的二维零位光栅编码新方法
- 2007年
- 二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难。本文结合全局优化的DIRECT算法和遗传算法等优化算法,提出一种首先采用优化算法设计较为易于得到的一维零位光栅编码,然后通过简单的矢量运算扩展为二维零位光栅的编码方法。通过验证,利用该方法所设计的二维零位光栅编码能在满足零位信号对比度与优化设计的一维零位光栅编码相同的前提下有效降低二维零位光栅编码设计的计算量。
- 周成刚叶锡标张阳黄文浩
- 关键词：二维零位光栅
