国家自然科学基金(60476032)
- 作品数：6 被引量：28H指数：4
- 相关作者：周嘉黄宜平程正喜鲍敏杭郭育林更多>>
- 相关机构：复旦大学中国科学院合肥学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 多层薄膜微结构热应力计算被引量：6
- 2007年
- 建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。
- 王锡明王军军周嘉
- 关键词：微机电系统残余应力
- 光致硅微悬臂梁形变理论研究
- 2006年
- 研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.
- 郭育林许谷城周嘉黄宜平鲍敏杭
- 关键词：微悬臂梁
- 沸石分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器被引量：11
- 2006年
- 研究了Cu2+-Beta型纳米分子筛对类神经毒剂DMMP有机气体的敏感特性,并结合高灵敏的石英谐振微天平(QCM)研制了DMMP气体的传感器.研究结果表明,选择Cu2+-Beta纳米分子筛作为敏感膜对DMMP气体的检测灵敏度大大提高,达到14.4811Hz/lg(C/ppm).在0.2ppmDMMP气体浓度下,传感器的响应时间和恢复时间分别为40s和100s,响应达到103Hz.同时经过高温和水汽吹扫脱附处理,该传感器表现了较好的重复性.
- 杨涓涓任楠周嘉张亚红刘全黄宜平唐颐
- 关键词：QCM气敏传感器
- MEMS神经元微探针研究被引量：5
- 2006年
- 制作了一种神经元多电极微探针，采用阻抗分析仪对微探针进行了表征，测量了该探针单个电极在生理盐水中100～1kHz范围内的交流阻抗．1kHz工作频率下，探针的交流电阻和交流容抗分别为100kΩ和10kΩ，时漂小于1％．作为微探针的初步应用，测量了两个电极之间在不同浓度的NaCl溶液中的交流阻抗．结果表明该探针基本符合神经元探针的要求，为下一步进行生物实验奠定基础．
- 程正喜黄维宁周嘉黄宜平鲍敏杭
- 关键词：神经元交流阻抗
- SF_6/O_2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究被引量：2
- 2007年
- 通过实验和统计分析方法研究了Al在SF6/O2气体干法刻蚀Si中的增强作用机理。研究表明,Al在SF6/O2刻蚀Si中具有增强作用,而且Al的增强作用基本独立,受其它刻蚀条件的影响较小。Al对Si刻蚀速率的增强作用并非都是由于衬底温度升高所致,而是Al表面形成的AlF单原子层起到了催化作用,使SF6分解出更多的F自由基,从而提高了Si的刻蚀速率。
- 程正喜郭育林周嘉
- 关键词：反应离子刻蚀AL
- 三维神经微电极阵列新制作技术研究被引量：6
- 2008年
- 尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法。玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板。利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列。制作的铜电极阵列高度约180μm,为制作更长的神经微电极阵列打下了基础。
- 吕尊实周嘉黄宜平是慧芳
- 关键词：微加工电镀微电极阵列
