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中央级公益性科研院所基本科研业务费专项(23-AKY1012)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：陈赤刘文德陈熙郑春弟王煜更多>>
相关机构：中国计量科学研究院中国科学院北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇椭偏测量
  • 1篇计量学
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇光谱
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性质

机构

  • 2篇中国计量科学...
  • 1篇北京有色金属...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇刘文德
  • 2篇陈赤
  • 1篇杜淼
  • 1篇樊其明
  • 1篇徐英莹
  • 1篇于靖
  • 1篇王煜
  • 1篇郝雷
  • 1篇张静
  • 1篇郑春弟
  • 1篇陈熙

传媒

  • 1篇计量学报
  • 1篇应用光学

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光刻胶光学性质的光谱椭偏测量方法研究被引量：2
2011年
利用相调制型光谱椭偏仪研究了光刻胶光学常数的测量方法，针对测量过程中光刻胶曝光控制优化了测量方案和仪器参数。对常见的$9912正型光刻胶，给出了曝光前后275～650nm波段的光学常数。并采用动态椭偏法测量了所需波长下曝光前的光学常数。实验结果表明：该测量方法适用于光刻胶在紫外一可见．红外宽波段的光学性质研究，在光刻模拟、新型光刻胶材料研制及其光学性质表征等领域有重要实用价值。
刘文德陈赤陈熙于靖郑春弟王煜
关键词：计量学光刻胶光学常数
TiAlON系薄膜材料的椭偏研究
2011年
对新型太阳能用薄膜材料TiAlON材料进行了椭偏研究。采用Cauchy,Lorentz和Tauc Lorentz模型对绝缘性TiAlON薄膜的椭偏测量结果进行了模拟,得到了薄膜的光学常数。通过比较色散模型及薄膜结构在不同波段的应用情况,说明Tauc Lorentz模型更适合于从紫外到近红外宽光谱的拟合。结果表明光谱椭偏术可以作为表征TiAlON材料系的可靠手段,是进一步表征多层膜系光学性质的基础。
刘文德陈赤杜淼郝雷徐英莹樊其明张静
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共1页<1>
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