山西省自然科学基金(991056)
- 作品数：2 被引量：15H指数：2
- 相关作者：许小红金志浩武海顺张富强张聪杰更多>>
- 相关机构：山西师范大学西安交通大学更多>>
- 发文基金：山西省自然科学基金国家自然科学基金高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 氮化铝压电薄膜的晶面择优取向被引量：14
- 2000年
- 采用直流磁控反应溅射方法 ,在Si(111)基片上成功地沉积了表面粗糙度小、组成均匀、以 (10 0 )面和 (0 0 2 )面择优取向的AlN薄膜 ,研究了溅射气压、溅射功率和靶基距对AlN薄膜结构及晶面取向的影响。结果表明 ,溅射气压低 ,靶基距短 ,有利于以 (0 0 2 )面择优取向 ;相反 ,溅射气压高 ,靶基距长 ,则对 (10 0 )面择优取向有利 ;溅射功率过高或过低均不利于晶面择优取向。并从Al—N化学键的形成以及溅射粒子平均自由程的角度探讨了AlN压电薄膜晶面择优取向。
- 武海顺许小红张富强金志浩
- 关键词：氮化铝薄膜平均自由程压电薄膜
- Cl_nAlNH_n和Hn_AlNH_n(n=1～3)的振动光谱与化学键性质的研究被引量：3
- 2000年
- 用从头计算分子轨道法和密度泛函理论 ,在HF/6 31G 和B3LYP/6 31G 水平上对ClnAlNHn 和HnAlNHn(n =1～ 3)及其碎片分子的几何构型、电子结构、振动光谱和化学热力学性质进行了理论研究。结果表明 ,优化几何参数与实验值相吻合。Cl2 AlNH2 和H2 AlNH2 分子中 ,Al-N键为由一个σ键和一个π键组成的双重键 ,旋转势垒分别为 34.10和 5 4 .35kJ·mol- 1。而Cl3AlNH3和H3AlNH3分子中 ,Al-N键为σ型单键 ,对应的旋转势垒为 0 .31和 2 .5 0kJ·mol- 1,有较小的势垒 ,易于旋转。化学热力学计算表明 ,ClnAlNHn 和HnAlNHn 分子中 ,Al-N键能的大小顺序为△Hn =2>△Hn =1>△Hn =3.
- 武海顺许小红张聪杰金志浩
- 关键词：DFT方法振动光谱化学键
