您的位置： 专家智库 > >

广东省教育部产学研结合项目(2011B050400516)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：林松盛代明江周克崧更多>>
相关机构：广州有色金属研究院华南理工大学更多>>
发文基金：广东省国际科技合作项目广东省教育部产学研结合项目更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇碳化钨
  • 1篇微观结构
  • 1篇离子
  • 1篇离子源
  • 1篇类金刚石
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇华南理工大学
  • 1篇广州有色金属...

作者

  • 1篇周克崧
  • 1篇代明江
  • 1篇林松盛

传媒

  • 1篇中国有色金属...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
类金刚石/碳化钨多层膜的制备及其结构被引量：11
2013年
采用阳极型气体离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在单晶硅及Ti6Al4V钛合金基体上制备掺钨类金刚石多层膜(DLC/WC),利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:所制备的膜层厚2.7μm,硬度高达3 550HV,摩擦因数为0.139,与Ti6Al4V基体结合力为52 N;W主要以纳米晶WC的形式与非晶DLC形成WC/DLC多层膜,该多层膜仍呈现出类金刚石膜的主要特征。
林松盛周克崧代明江
关键词：类金刚石微观结构离子源非平衡磁控溅射
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0