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甘肃省自然科学基金(3zs041-A25-001)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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相关机构：兰州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金甘肃省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化铟
  • 1篇氧化铟锡
  • 1篇透光率
  • 1篇溅射
  • 1篇PTCDA
  • 1篇ITO
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇张福甲
  • 1篇肖剑
  • 1篇孙硕
  • 1篇冯煜东
  • 1篇胥超

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PTCDA表面射频磁控溅射ITO薄膜的特性研究被引量：1
2007年
将氧化铟锡(ITO)溅射淀积在PTCDA/玻璃衬底表面,利用原子力显微镜(AFM)、四探针和紫外可见分光光度计分别测量薄膜的表面形貌、电阻率和透光率。结果表明衬底温度对ITO在PTCDA上的淀积有着与在其他衬底上淀积所不同的影响,提高衬底温度淀积ITO并没有提高薄膜的结晶度;溅射功率的提高有利于ITO电阻率的下降,但是功率过高会破坏ITO薄膜的特性ITO膜厚度的增加导致其电阻率减小。
孙硕胥超冯煜东肖剑张福甲
关键词：PTCDA透光率
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