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国防基础科研计划(B1120060466)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：周铭阚玲梁涛唐昭焕刘勇更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第二十四研究所中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国防基础科研计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇统计过程
  • 1篇统计过程控制
  • 1篇芯片
  • 1篇可靠性
  • 1篇过程控制
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇IC芯片

机构

  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇徐岚
  • 1篇税国华
  • 1篇刘勇
  • 1篇唐昭焕
  • 1篇梁涛
  • 1篇阚玲
  • 1篇周铭

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
评价IC芯片质量与可靠性的关键技术研究被引量：2
2011年
对CPK、SPC和PPM三项评价IC芯片质量和可靠性的关键技术进行了研究。使用这三项技术,实际评价了芯片制造工艺中的氧化工艺。实践证明,这三项技术在工艺生产能力评估、工艺过程控制和失效分析等方面具有广阔的应用前景,特别是在工艺过程中对特殊工艺的评估。
唐昭焕周铭徐岚刘勇阚玲梁涛税国华
关键词：半导体工艺可靠性统计过程控制
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共1页<1>
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