国家自然科学基金(60876013)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 相关机构：吉林建筑工程学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学更多>>
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- 不同氧气分压下的MOCVD法氧化锌薄膜生长
- 2010年
- 采用金属有机化学气相沉积方法,在不同氧气分压下,对硅衬底氧化锌薄膜材料生长做了研究。X-射线衍射方法对氧化锌薄膜的结晶质量做了比对测试。测试结果表明薄膜是沿着(002)方向生长。利用光荧光谱测试分析,对薄膜的发光特性做了研究,研究发现随着氧气分压增大,薄膜的紫外发光峰增强。通过原子力显微镜测试,对薄膜的表面形貌做了观察,发现结晶颗粒的平均粗糙度、均方根,以及平均直径随着氧气分压的增大呈现逐渐变小的趋势。
- 赵春雷杨小天王超唐魏杨佳高晓红
- 关键词：氧化锌MOCVD
- 不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长(英文)被引量：1
- 2009年
- 氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性。通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(002)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长。对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜。通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的。
- 王超杨小天唐魏赵春雷杨佳高晓红李香萍高忠民杜国同
- 关键词：氧化锌MOCVD
