上海市科委纳米专项基金(0452nm023)
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
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- 刮板式微致动器性能研究
- 2008年
- 刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。
- 于茂华王小静谢明春王国亮张敏亮
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄...
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
- 文献传递
- 静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1
- 2008年
- 建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。
- 赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳
- 关键词：微型机电系统谐振频率
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究被引量：3
- 2005年
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响。微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度。谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应。
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
- 横向振动微谐振器的仿真分析被引量：5
- 2006年
- 通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响。在谐响应仿真分析中得到微谐振器的幅频响应特性,从而导出微谐振器的品质因子Q值。
- 王敏王小静刘永武陈晓阳
- 关键词：微谐振器有限元法仿真
