您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(04JK256)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：翟春雪闫军锋张志勇邓周虎赵武更多>>
相关机构：中国科学院西北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇英文
  • 1篇光敏
  • 1篇光敏特性
  • 1篇SIC薄膜
  • 1篇掺杂
  • 1篇N

机构

  • 1篇西北大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇贠江妮
  • 1篇赵武
  • 1篇邓周虎
  • 1篇张志勇
  • 1篇闫军锋
  • 1篇翟春雪

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
掺杂N的浓度对SiC薄膜的光敏特性影响(英文)被引量：2
2007年
在热丝化学汽相沉积(HFCVD)法制备SiC薄膜过程中,研究不同的N掺杂下制备样品的光敏特性.对薄膜在室温和较高温度(410℃)下进行光敏特性测试,结果表明,薄膜的制备工艺参量对其光敏特性有较大影响;较高温度下其敏感特性和室温下测试的结果大体一致;在合适条件下制备的薄膜对不同波长的光有较好的敏感特性.可以看出,SiC薄膜在研究高温光敏器件领域具有很好的应用前景.
赵武闫军锋翟春雪邓周虎贠江妮张志勇
关键词：SIC薄膜光敏特性
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0