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吉林省科技发展计划基金(20070314)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：姜志刚林志伟齐海东高永慧郑艳彬更多>>
相关机构：吉林大学长春理工大学吉林师范大学更多>>
发文基金：吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇碳纳米管
  • 1篇微结构
  • 1篇微结构研究
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇晶界
  • 1篇刻蚀
  • 1篇PCVD

机构

  • 2篇吉林大学
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇吉林师范大学

作者

  • 2篇姜志刚
  • 1篇李红东
  • 1篇郑涛
  • 1篇冯玉玲
  • 1篇李博
  • 1篇常喜
  • 1篇郑艳彬
  • 1篇高永慧
  • 1篇齐海东
  • 1篇林志伟

传媒

  • 1篇高压物理学报
  • 1篇吉林师范大学...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金刚石厚膜的微结构研究
2008年
采用直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石厚膜,利用氢的微波等离子体对抛光的金刚石厚膜截面进行刻蚀,用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪研究了金刚石厚膜的微结构及杂质、缺陷的分布。结果表明:杂质、空洞主要富集在晶界处;在金刚石膜的生长过程中,随着甲烷流量的增加,晶界密度、空洞、晶粒内部缺陷、杂质含量逐渐增加,晶界的排列从以纵向为主过渡到网状结构。
姜志刚冯玉玲郑涛李红东李博郑艳彬林志伟
关键词：等离子体刻蚀晶界
直流热阴极PCVD方法制备碳纳米管的工艺研究
2009年
文中介绍了以氢气和甲烷作为反应气体,采用直流热阴极PCVD沉积碳纳米管的方法,研究了制备碳纳米管的工艺过程.介绍了沉积碳纳米管的实验设备,给出了制备工艺参数及对基片的选择.在镀有金镍(金镍膜厚分别为20 nm/40 nm、40 nm/40 nm、60 nm/40 nm)复合膜的硅片上仅用十几秒的时间就得到了Y型碳纳米管,碳纳米管的直径在20 nm到80 nm之间.
齐海东高永慧常喜姜志刚
关键词：PCVD碳纳米管
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