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辽宁省教育厅科技攻关项目(052314)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：巴德纯闻立时沈辉王贺权更多>>
相关机构：东北大学中山大学沈阳航空工业学院更多>>
发文基金：辽宁省教育厅科技攻关项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电池
  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇太阳电池
  • 1篇溅射
  • 1篇二氧化钛薄膜
  • 1篇反射率
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇TIO2

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇沈阳航空工业...
  • 1篇中山大学
  • 1篇中国科学院金...

作者

  • 1篇王贺权
  • 1篇沈辉
  • 1篇闻立时
  • 1篇巴德纯

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO2薄膜反射率性质的影响被引量：4
2008年
应用直流反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,利用n&k仪对薄膜的反射率进行检测,结果表明TiO2薄膜可以作为太阳电池减反射薄膜应用,并且通过改变工艺条件可以调控薄膜的反射低谷。当总压强为2×10-1Pa、O2流量为15 sccm、靶基距为190 mm、温度为60℃的条件下制备的TiO2薄膜的减反射效果最好。
王贺权巴德纯沈辉闻立时
关键词：直流反应磁控溅射二氧化钛薄膜太阳电池反射率
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