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国家重点实验室开放基金(pi10913)

作品数：1 被引量：13H指数：1
相关作者：李源邹子英李东升雷李华王丽华更多>>
相关机构：上海市计量测试技术研究院中国计量学院更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

机构

  • 1篇中国计量学院
  • 1篇上海市计量测...

作者

  • 1篇王丽华
  • 1篇雷李华
  • 1篇李东升
  • 1篇邹子英
  • 1篇李源

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米台阶标准样板的制备和表征被引量：13
2011年
介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(LFS)、扫描白光干涉测头(SWLIS)的参数指标和适用范围。分别利用纳米测量机(NMM)的多种测头对纳米标准样板进行表征,对SIMT100纳米标准样板A区域开展重复性实验、区域均匀性实验和长时间稳定性实验。结果表明,设计与制备的SIMT100纳米标准样板A区域的高度值具有较好的量值传递特性。台阶标准片的测量重复性、区域均匀性和稳定性的标准偏差均小于1nm。
雷李华邹子英李源王丽华李东升
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