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天津市科技支撑计划(12CZDGX03600)
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微球组装技术在三维电池衬底中的应用研究
2013年
以非晶硅薄膜和聚苯乙烯微球为原材料,采用自组装方法和反应离子刻蚀技术制作非晶硅微米结构,以期应用于三维电池银背电极的制备当中。实验表明,对微球的刻蚀时间进行控制、对非晶硅的刻蚀气压、刻蚀时间进行控制,可获得不同的三维微米结构。采用合适的工艺条件可获得梯形结构、三角形结构,蒸镀银薄膜后能获得约95%的可见光、近红外光散射比率,为三维电池制备提供一种新的实现方法。
高海波
张晓丹
梁雪娇
赵慧旭
赵慧旭
白立沙
刘伯飞
白立沙
赵颖
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微米结构
非晶硅薄膜
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