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福建省教育厅资助项目(JAO21138)
作品数:
1
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发文基金:
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TiO2:MgF2薄膜的湿敏特性
2003年
采用真空镀膜技术制备了TiO2:MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
林永钟
关键词:
湿敏
二氧化钛
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