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山东省自然科学基金(ZR2009FZ007)

作品数:1 被引量:7H指数:1
相关作者:丁玉成更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压印光刻
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇纳米压印光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺

机构

  • 1篇青岛理工大学

作者

  • 1篇丁玉成

传媒

  • 1篇青岛理工大学...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
纳米压印光刻工艺的研究进展和技术挑战被引量:7
2010年
图形化技术是微纳制造过程的核心工艺之一.目前,作为微纳加工主流工艺的光学光刻技术由于受曝光波长衍射极限的物理限制,其技术复杂性和设备制造成本大幅增加.纳米压印将传统的模板复型原理应用到微观制造领域,以其高分辨率、高效率、低成本和工艺过程简单的特点,引起了各国研究人员的广泛关注.作为一种接触式几何约束流变成形方式,纳米压印必然衍生出许多新的挑战性问题.在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对目前的若干主要压印技术工艺变种进行了简要综述,总结出了纳米压印所涉及的基本理论问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析.
丁玉成
关键词:纳米压印光刻
共1页<1>
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