表面物理与化学国家重点实验室开放基金(90000460200606)
- 作品数：2 被引量：15H指数：2
- 相关作者：王德真刘成森刘天伟李晓红王艳辉更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院大连理工大学辽宁师范大学更多>>
- 发文基金：表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 球心处有附加电极的半圆形容器等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化被引量：10
- 2008年
- 本文利用两维流体模型研究了半圆形容器在放置共心零电位附加电极情况下,等离子体源离子注入的离子鞘层时空演化动力学过程。考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布,计算了容器内外表面的离子束流密度分布和注入剂量分布随时间的变化规律。研究结果显示,容器内表面附近鞘层扩展到附加电极后,其中的离子逐渐都注入到容器内表面、电场分布逐渐趋于稳定。同时,在容器内表面上,离子注入剂量不再增加。
- 刘成森李晓红王德真刘天伟
- 半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟被引量：9
- 2008年
- 利用两维particle-in-cell方法研究了半圆形容器表面等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化规律.详尽考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布规律,离子在鞘层中的运动轨迹和运动状态,得到了半圆容器内、外表面和边缘平面上各点离子注入剂量分布规律,获得了工件表面各点注入离子的入射角分布规律.研究结果揭示了半圆容器边缘附近鞘层中离子聚焦现象,以及离子聚焦现象导致工件表面注入剂量分布和注入角度分布存在很大不均匀的基本物理规律.
- 刘成森王德真刘天伟王艳辉
- 关键词：鞘层
