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国家科技基础条件平台建设计划(2005DKA108002005DKA10806)

作品数:2 被引量:4H指数:2
相关作者:宋小平程斌王海刘芬冯颖更多>>
相关机构:北京化工大学中国计量科学研究院中国科学院更多>>
发文基金:国家科技基础条件平台建设计划中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域:理学一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电子能
  • 2篇电子能谱
  • 2篇光电子能谱
  • 2篇合金
  • 2篇X射线
  • 2篇X射线光电子...
  • 1篇金薄膜
  • 1篇计量学
  • 1篇国际关键比对
  • 1篇合金薄膜
  • 1篇NI合金
  • 1篇XPS研究
  • 1篇FE
  • 1篇FE-NI合...

机构

  • 2篇北京化工大学
  • 2篇中国计量科学...
  • 1篇北京联合大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇王海
  • 2篇程斌
  • 2篇宋小平
  • 1篇刘芬
  • 1篇冯颖

传媒

  • 1篇计量学报
  • 1篇稀有金属

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
Fe—Ni合金薄膜组成表面分析测量国际关键比对CCQM—K67被引量:2
2012年
利用X射线光电子能谱技术,建立了Fe—Ni合金薄膜组成表面分析准确定量方法,中国计量科学研究院参加了国际关键比对CCQM—K67。根据最近公布的关键比对结果,中国计量科学研究院测量的Fe原子分数结果为51.48%,与参加的各国国家计量研究院的结果(50.02%)达到了等效一致。
王海宋小平程斌冯颖
关键词:计量学X射线光电子能谱国际关键比对
Fe-Ni合金薄膜组成准确测量的XPS研究被引量:3
2010年
利用X射线光电子能谱(XPS)技术进行了Fe-Ni合金薄膜组成的准确测量研究,考察了3种不同来源的相对灵敏度因子对同一测试样品测量结果的影响。试验结果表明:通过纯Fe和纯Ni薄膜测得、仪器软件自带、Fe-Ni合金薄膜标准物质测得的相对灵敏度因子计算得到的Fe-Ni合金薄膜组成(Fe的摩尔分数)分别为43.23%,47.39%和49.91%。通过Fe-Ni合金薄膜标准物质(与测试样品具有相似组成)测得的相对灵敏度因子来计算测试样品的元素组成时,可以获得更加准确、有效的测量结果(Fe的摩尔分数为49.91%),这与国际关键比对CCQM-K67参考值(50.02%)相一致;测量结果不确定度优于3%。此外,通过氩离子刻蚀技术能够很好地去除样品表面含碳污染物和金属氧化物。
王海程斌宋小平刘芬
关键词:X射线光电子能谱
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