陕西省科技攻关计划(2005K04-G6)
- 作品数：4 被引量：4H指数：2
- 相关作者：侯洵张景文闫文静张杰张伟风更多>>
- 相关机构：西安交通大学河南大学更多>>
- 发文基金：陕西省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- 低温液相合成晶态纳米二氧化钛的晶化机制被引量：2
- 2007年
- 纳米二氧化钛由于其独特的物理化学性能和在诸多领域中具有广阔的应用前景而引起人们广泛关注。低温液相合成晶态纳米二氧化钛由于避免了高温煅烧过程,可望赋予其更优越的特性。详细介绍了晶态纳米二氧化钛低温液相合成的晶化机制。
- 闫文静张景文侯洵
- 关键词：二氧化钛金红石锐钛矿板钛矿晶化
- 阵列式日盲紫外成像CMOS读出集成电路及凸点连接的制作
- 2009年
- 可以广泛应用于军事和工农业生产上的CMOS紫外焦平面阵列(UVFPA)是近年来比较热门的研究课题。它可以比较容易地实现日盲式紫外探测和可见光盲式紫外探测。但在CMOS UVFPA的研制中,读出集成电路(ROIC)成了制约其发展的很重要的一环。ROIC芯片是实现探测器的信号输出的重要部件。混成式CMOS UVFPA要借助于先进的微电子封装工艺将ROIC与探测器阵列集成在一起。其中则需要制备用于高密度、高精确度互连的阵列凸点。我们通过蒸发结合光刻法和电镀法分别制备了线度为30μm×30μm的16×16凸点阵列。并对两种制备方法做了比较,在分析了制作的凸点的质量后,认为经过改进的蒸发结合光刻法可以制作高质量的阵列凸点。
- 李高明张景文侯洵
- 以ZnO为沟道层的薄膜晶体管制备研究被引量：2
- 2008年
- 采用光刻剥离工艺和射频磁控溅射法分别在(100)硅片和ITO玻璃衬底上制备了以氧化锌为沟道层的底栅式薄膜晶体管(ZnO-TFT)。用X射线衍射仪、原子力显微镜对生长在绝缘层上的ZnO薄膜进行了表征。在硅衬底ZnO-TFT中,热氧化生长的二氧化硅薄膜作为绝缘层,金属铝用作源漏电极,该器件工作在N沟道增强模式,其阈值电压为8V,电流开关比为5×103,电子的场迁移率达到0.61cm2/(V.s)。在以ITO玻璃为衬底的透明ZnO-TFT中,分别采用了SiO2、Al2O3、SiNx、PbTiO3薄膜作为绝缘层,实验表明生长在不同绝缘层上的ZnO薄膜都有很高的c轴择优取向,透明ZnO-TFT在可见光波段的平均透过率达到85%。
- 张新安张景文张伟风王东毕臻张杰侯洵
- 关键词：ZNO薄膜薄膜晶体管绝缘层
- 晶态纳米TiO_2的低温液相合成最新进展
- 2007年
- 纳米TiO_2由于其具有大的比表面积和量子尺寸效应等特殊性质引起了人们广泛关注。低温液相合成晶态纳米TiO_2由于避免了高温煅烧过程,可望赋予其更优越的物理化学特性。详细介绍了晶态纳米TiO_2的低温液相合成方法,并展望了液相合成晶态纳米TiO_2技术的发展前景。
- 闫文静张景文侯洵
- 关键词：金红石锐钛矿板钛矿液相合成
