您的位置： 专家智库 > >

上海市自然科学基金(11ZR1439700)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：单威杨鹏飞胡保付姚曼文姚熹更多>>
相关机构：同济大学更多>>
发文基金：上海市自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电性能
  • 1篇电性能研究
  • 1篇氧化铝薄膜
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇无定形
  • 1篇J

机构

  • 1篇同济大学

作者

  • 1篇姚熹
  • 1篇姚曼文
  • 1篇胡保付
  • 1篇杨鹏飞
  • 1篇单威

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究被引量：2
2013年
以乙二醇乙醚为溶剂,异丙醇铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶法和旋转涂覆工艺,在不同衬底上制备了氧化铝薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和金相显微镜等手段对薄膜的微观结构和表面形貌进行了表征。结果表明,溶胶-凝胶法制得的薄膜为无定形结构,表面均匀、致密、无裂纹。通过对薄膜电流密度与电场和时间(J-E和J-t)曲线的测量,对薄膜的电学性能进行了研究。薄膜击穿场强约为2.0～3.0MV/cm,在电场强度为0.5MV/cm时,漏电流密度约为9.0×10-6 A/cm2。
单威姚曼文胡保付杨鹏飞姚熹
关键词：氧化铝薄膜溶胶-凝胶法无定形
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0