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广东省自然科学基金(013004)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
黄彩娥
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材料科学与工...
年份
1篇
2006
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改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能
被引量:1
2006年
为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2 sccm时,膜/基附着力性能最好.
黄元盛
邱万奇
罗承萍
黄彩娥
关键词:
化学气相沉积
氧气
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