陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ200501)
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 相关作者：杭凌侠董光能谢友柏曾群锋徐均琪更多>>
- 相关机构：西安工业大学西安交通大学更多>>
- 发文基金：陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程理学更多>>
- 退火温度对硅基硬质碳膜内应力和硬度的影响被引量：1
- 2007年
- 硬质碳膜中应力的存在限制了其应用,真空退火是降低内应力的有效措施.本文利用BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪和HXD-1000型数字式硬度计,对在硅基片上用非平衡磁控溅射制备的碳膜应力和硬度随退火温度的变化进行了研究.研究结果表明:随退火温度的升高,碳膜平均应力减小,分布趋向均匀,但硬度下降;在退火温度300℃下平均应力减小为-2.29×108Pa,膜的硬度变化不明显,维氏硬度从4780.3589 MPa降到4194.099 MPa(类似于类金刚石(DLC)),此退火温度下保证了薄膜具有很小的内应力同时具有较高的硬度.
- 杭凌侠朱小琴
- 关键词：非平衡磁控溅射碳膜退火温度应力
- 高速钢表面镀覆DLC膜的结构及其摩擦特性研究被引量：6
- 2007年
- 以高纯石墨作靶材、N2/Ar为工作气体,采用非平衡磁控溅射技术在高速钢上制备了光滑、致密、均匀的掺氮DLC膜。用XPS、Raman光谱仪表征了DLC膜的结构,并在球-盘摩擦试验机上研究了其摩擦特性。结果表明:工作气体中的N2比例对DLC膜结构及其摩擦特性影响较大,随着N2比例的增加薄膜中sp3的比例减少,而sp2和碳氮键的比例增加;随着N2比例的增加,薄膜摩擦因数先减后增,这与薄膜中sp3比例下降和sp2比例增加而导致薄膜的硬度以及内应力变化有关。就本试验而言,工作气体中N2比例不应高于20%。
- 曾群锋董光能谢友柏徐均琪杭凌侠
- 关键词：类金刚石膜非平衡磁控溅射
