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福建省教育厅资助项目(JB08012)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：程树英黄碧华黄红梁更多>>
相关机构：福州大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子束蒸发
  • 1篇基片
  • 1篇基片温度
  • 1篇ZNS薄膜

机构

  • 1篇福州大学

作者

  • 1篇黄红梁
  • 1篇黄碧华
  • 1篇程树英

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基片温度对电子束蒸发的ZnS薄膜性能的影响被引量：11
2009年
采用电子束蒸发在不同基片温度下沉积ZnS薄膜,研究了基片温度对薄膜性能的影响。结果表明:不同基片温度下沉积的ZnS薄膜均呈多晶状态,为体心立方(闪锌矿)结构的β-ZnS,并具有明显的(111)面择优取向,导电类型为n型。随着成膜时基片温度的提高,薄膜结晶度越来越好,透过率增大,载流子浓度增大,而电阻率减小。
黄红梁程树英黄碧华
关键词：ZNS薄膜电子束蒸发基片温度
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