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高等学校科技创新工程重大项目(705002)
作品数:
1
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白树林
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蔺冰
许谏
张国义
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高等学校科技创新工程重大项目
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高Al组分Al_xGa_(1-x)N薄膜的弹性-塑性力学性质
被引量:1
2007年
采用纳米压痕方法,研究了AlN/spphire模板上的高Al组分AlxGa1-xN薄膜的力学性质,特别是弹性-塑性转变行为.研究表明,AlxGa1-xN薄膜的杨氏模量E随着Al组分的增加而增大,薄膜中产生塑性形变所必要的剪切应力也随着Al组分的增加而增大.在AlxGa1-xN薄膜纳米压痕实验中,观察到位移不连续的跳断('pop-in')行为,并且发现'pop-in'行为强烈依赖于Al组分,Al组分的增加导致这种行为的减少.我们认为随着Al组分的增加,AlxGa1-xN中键能的增强和由于AlxGa1-xN与AlN/sapphire模板之间晶格失配减少这两个因素增加了AlxGa1-xN中新位错形成的阻力,从而导致了AlxGa1-xN薄膜中的'pop-in'行为随Al组分增加而减少.
许福军
沈波
王茂俊
许谏
苗振林
杨志坚
秦志新
张国义
蔺冰
白树林
关键词:
杨氏模量
力学性质
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