天津市自然科学基金(013602111)
- 作品数：11 被引量：22H指数：3
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 临界角传感器在导轨性能评价中的应用被引量：6
- 2003年
- 文中叙述了一种基于光学内反射效应的角度传感器的设计原理和特点。理论分析和实验表明 ,该传感器具有极高的分辨能力。并应用此传感器对导轨 /扫描平台滑块运动过程中的摆动角度进行了测量 ,提出了一种导轨性能的评价方法。
- 李德春刘庆纲胡小鹏胡小唐
- 关键词：角度传感器
- 临界角传感器在导轨性能评价中的应用
- 文中叙述了一种基于光学内反射效应的角度传感器的设计原理和特点。理论分析和实验表明,该传感器具有极高的分辨能力。并应用此传感器对导轨/扫描平台滑块运动过程中的摆动角度进行了测量,提出了一种导轨性能的评价方法。
- 李德春刘庆纲胡小鹏胡小唐
- 关键词：角度传感器
- 文献传递
- 相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响被引量：1
- 2003年
- AFM针尖诱导氧化加工的金属 (Ti、Al、Nb等 )纳米氧化线是实现金属 半导体纳米器件的基础 ,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度 ,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响 ,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为 30 %～ 5 0 %。
- 匡登峰刘庆纲郭维廉张世林胡小唐
- 关键词：相对湿度AFM阳极氧化金属薄膜
- 误差因素对微角度传感器性能的影响被引量：6
- 2003年
- 叙述了一种基于光学内反射的非接触式角度传感器的设计原理和特点,分析了该角度传感器的关键器件临界角棱镜的参数设计,着重讨论了临界角棱镜的加工误差对系统特性的影响。通过计算和实验发现,通过控制临界角棱镜的入射中心角误差不大于20",两平行反射表面的一致不平行度误差小于30",以及反射表面的平面度优于λ/4可以使该传感器在3 测量范围内获得0.02"的分辨率。
- 刘庆纲李志刚李德春胡小唐
- 关键词：角度传感器
- 材料表面硬度及形状的AFM分析方法被引量：6
- 2003年
- 利用AFM测量软性材料如聚合体、生物物质时,AFM探针对被测软性材料表面施加一定的力而引起材料表面产生变形.通过测力 位移曲线,基于AFM测力 压痕曲线分析,探讨了减轻该影响并获得高精度软性材料表面形状测量结果的方法,进而计算材料表面微观杨氏弹性模量.该方法不仅可决定物体的表面弹塑性,获得高精度的表面形状测量结果,而且通过了解物体变形机理,进一步分析材料的微观特性.
- 刘庆纲李德春王战胡晓东胡小唐清野慧
- 关键词：原子力显微镜杨氏弹性模量
- 超高速器件的采样技术被引量：1
- 2002年
- 详细论述了电光采样和光导采样两种超快速采样技术的原理和实现方法 ,分析了两种超快速采样技术的发展方向 ,对比了两种超快速采样技术的优缺点 ,提出了利用微加工和纳米加工不断改善两种超快速采样技术的方法。
- 匡登峰刘庆纲胡小唐
- 关键词：电光采样
- 大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响被引量：3
- 2004年
- AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30%～50%。
- 匡登峰刘庆纲郭维廉张世林胡小唐
- 利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展
- 碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比。文中提出了一套制...
- 胡小鹏刘庆纲匡登峰李源胡小唐
- 关键词：碳纳米管
- 文献传递
- 脉冲时间对AFM阳极诱导氧化加工的影响被引量：1
- 2006年
- 通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系．同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究了大气湿度对所加工氧化点结构的高度和宽度的影响,即氧化点的高度和宽度都随着相对湿度的增加而增加。通过实验,发现扫描速率为1μm／s、所施加偏压为7 V、脉冲时间为1 s、相对湿度为40％左右时所加工结构较为理想．
- 李敏刘庆纲匡登峰郭维廉张世林张珊胡小唐
- 关键词：AFM阳极氧化偏压
- 超高速电光采样技术
- 详细论述了超高速电光采样技术的原理和实现方法,提出了不断改善电光采样的方法,对比了电光采样和其他采样技术的时间分辨力和带宽。
- 匡登峰刘庆纲胡小唐
- 关键词：电光采样
- 文献传递
