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广东省自然科学基金(04000374)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：梁宗存柳锡运沈辉更多>>
相关机构：中山大学中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇电池
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇多晶硅薄膜电...
  • 1篇颗粒硅带
  • 1篇隔离层
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇薄膜电池

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇沈辉
  • 1篇柳锡运
  • 1篇梁宗存

传媒

  • 1篇太阳能学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
开口隔离层上多晶硅薄膜制备
2006年
在SSP硅带衬底上制备开口SiO2隔离层,在隔离层上沉积多晶硅薄膜籽晶层;然后以ZMR将制备的多晶硅薄膜区融、进行再结晶,制备了SSP隔离层上多晶硅薄膜,并制备了多晶硅薄膜电池。研究结果表明:ZMR对籽晶层的区融、结晶效果比较理想,晶粒尺寸增大到厘米级长、毫米级宽;经过晶硅薄膜沉积后,开口隔离层的孔洞未完全被多晶硅薄膜层覆盖住;制备的电池的光特性参数Voc、Isc、FF都比较低,电池的最高转换效率为3.83%;指出了改进的工艺措施。
梁宗存柳锡运沈辉
关键词：多晶硅薄膜电池颗粒硅带隔离层
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