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西安―应用材料创新基金(XA-AM-200611)

作品数:1 被引量:4H指数:1
相关作者:赵高扬彭新玲更多>>
相关机构:西安理工大学更多>>
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相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇修饰
  • 1篇有机-无机复...
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇溶胶一凝胶
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇微细图形
  • 1篇无机
  • 1篇化学修饰
  • 1篇感光

机构

  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇彭新玲
  • 1篇赵高扬

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
感光溶胶-凝胶法制备光波导研究被引量:4
2008年
采用溶胶-凝胶技术与化学修饰相结合的方法,制备了具有紫外感光特性的SiO2/Al2O3溶胶及其凝胶薄膜,并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构,经一次提拉制膜就可获得18μm厚的感光性凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,再经过溶洗和200℃、1h的热处理,就可获得厚度达到15μm、线宽约为100μm的波导阵列.对这种波导薄膜的折射率和的透射率进行了研究.
彭新玲赵高扬
关键词:有机-无机复合微细图形溶胶一凝胶化学修饰
共1页<1>
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