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西安―应用材料创新基金(XA-AM-200611)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
赵高扬
彭新玲
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相关机构:
西安理工大学
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发文基金:
西安―应用材料创新基金
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相关领域:
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1篇
西安理工大学
作者
1篇
彭新玲
1篇
赵高扬
传媒
1篇
光子学报
年份
1篇
2008
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感光溶胶-凝胶法制备光波导研究
被引量:4
2008年
采用溶胶-凝胶技术与化学修饰相结合的方法,制备了具有紫外感光特性的SiO2/Al2O3溶胶及其凝胶薄膜,并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构,经一次提拉制膜就可获得18μm厚的感光性凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,再经过溶洗和200℃、1h的热处理,就可获得厚度达到15μm、线宽约为100μm的波导阵列.对这种波导薄膜的折射率和的透射率进行了研究.
彭新玲
赵高扬
关键词:
有机-无机复合
微细图形
溶胶一凝胶
化学修饰
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